ASML确认下一代高数值孔径EUV光刻机已具备大规模量产能力,将助力英特尔与台积电等厂商生产更高效的AI芯片

阿斯麦首席技术官Marco Pieters表示,新一代High-NA EUV光刻机已通过关键技术测试并具备大规模量产能力,该设备能够显著简化芯片制造流程并提升生产效率。尽管每台机器售价高达4亿美元,但其对于突破当前AI芯片制造的技术瓶颈至关重要,预计英特尔和台积电等主要客户将在未来两到三年内完成生产线的全面整合,以满足日益增长的AI芯片市场需求。

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总部位于 荷兰 的半导体设备领军企业 阿斯麦 (ASML) 宣布,其下一代芯片制造设备已准备好投入大批量生产。这一进展对全球半导体行业具有里程碑意义,特别是对于人工智能(AI)芯片的生产。这种被称为 High-NA EUV 的新型工具将帮助 台湾 积体电路制造公司和 英特尔 等芯片制造商生产更强大、更高效的芯片,并通过简化制造流程来降低成本。

资料照片:2025年11月5日,中国上海第八届中国国际进口博览会(CIIE)上展示的阿斯麦公司标志。路透社/Maxim Shemetov/文件照片

阿斯麦首席技术官 Marco Pieters 表示,公司计划在圣何塞的技术会议上公布相关数据。这些数据表明,High-NA EUV 设备已经处理了 500,000 片硅晶圆,并展示了极高的电路图案绘制精度。Pieters 指出,目前设备的运行时间已达到 80%,并有望在年底前提升至 90%。

我认为,考虑到已经完成的学习周期数量,现在正处于一个关键点。

尽管技术上已准备就绪,但制造商通常需要两到三年的测试和开发周期才能将新设备完全整合到生产线中。这种新型工具的单台售价约为 4 亿美元,是上一代 EUV 机器的两倍。然而,随着现有技术在制造复杂 AI 芯片方面接近物理极限,High-NA EUV 对于提升 ChatGPT 等 AI 应用的性能至关重要。

芯片制造商拥有鉴定这些工具的所有知识。

Pieters 强调,阿斯麦即将发布的影像数据足以说服客户,利用 High-NA 技术的一个步骤来取代旧代工具的多个繁琐步骤,从而优化生产流程。

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