ASML擬研發大尺寸光罩升級先進晶片設備

ASML計劃與主要晶片製造商合作，為其先進的High NA EUV設備開發更大尺寸的光罩。此舉旨在支援2033年前大型資料中心晶片的量產，並大幅提升系統生產力。

2026年9月8日

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